マイクロフォーカスX線透視システム XTV160

● 開放管タイプX線源。 ● 傾斜角75度でBGA検査に最適 ● 高速データ取得、高画質画像 ● 複数の基盤を設置できる大型トレイ ● 測定ワークフローをマクロで自動化  (マクロはカスタマイズ可能) ● 直感的なGUIとインタラクティブな  ジョイスティックナビゲーションで高速操作
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仕様
品 名 XTV160
     
X線源タイプ 開放管透過型 最大電圧 : 160kV
最大出力 20W
焦点サイズ 1um
最小欠陥検出可能サイズ 500nm
幾何学的倍率 2x − 2400x
ディテクタ(標準) 16bit 1M pixel イメージインテンシファイヤ
ディテクタ(オプション) フラットパネル
マニピュレータ 5軸
回転軸 標準
傾斜角度 0 − 75度
検査可能領域 406×406mm
最大サンプル重量 5kg
装置寸法(L×W×H) 930×2231×1975mm
装置重量 1935kg
漏洩線量 1μSv/hr以下
制御ソフト Inspect-Xソフトウェア(Nikon Metrology社製)
自動検査機能 標準
用途 BGAの自動検査、μBGA、フリップチップ、プリント基板
     
電源 AC100V、15A
接地 D種
振動の無いところに設置して下さい。
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